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高精度测定用电镀层应变计式精密应力计
高精度测定用电镀层应变计式精密应力计

通过传感器测量基板的应变，实时测量镀层内部应力。

通过一次测量可以测量各镀层时间（皮膜厚度）下的应力。此外，还可以测量一次镀敷后的膜上再次镀敷时的应力。可以测量传统应力仪无法测量的微小应力。在精密电镀电源驰笔笔系列的插槽中，插入专用的应力计板进行使用。

特长

●符合JIS H8626标准。
●即使是微弱的应力也可以进行测量。适用于薄膜和晶圆等微弱产物的测量。（可从膜厚0.5μ尘以上进行精密测量）
●也可以测量通过其他方式无法测量的初期应力。
适用于微小部件。
●传感器获得的数据立即输入到连接到电源的笔颁中，无需计算即可自动计算应力值。此外，测量中的数据可以使用电脑实时显示。将被积累起来。

电源及应力测量板部的规格

通过传感器测量基板的应变，实时测量镀层内部应力。

通过一次测量可以测量各镀层时间（皮膜厚度）下的应力。此外，还可以测量一次镀敷后的膜上再次镀敷时的应力。可以测量传统应力仪无法测量的微小应力。在精密电镀电源驰笔笔系列的插槽中，插入专用的应力计板进行使用。

特长

●符合JIS H8626标准。
●即使是微弱的应力也可以进行测量。适用于薄膜和晶圆等微弱产物的测量。（可从膜厚0.5μ尘以上进行精密测量）
●也可以测量通过其他方式无法测量的初期应力。
适用于微小部件。
●传感器获得的数据立即输入到连接到电源的笔颁中，无需计算即可自动计算应力值。此外，测量中的数据可以使用电脑实时显示。将被积累起来。

电源及应力测量板部的规格

通过传感器测量基板的应变，实时测量镀层内部应力。

通过一次测量可以测量各镀层时间（皮膜厚度）下的应力。此外，还可以测量一次镀敷后的膜上再次镀敷时的应力。可以测量传统应力仪无法测量的微小应力。在精密电镀电源驰笔笔系列的插槽中，插入专用的应力计板进行使用。

特长

●符合JIS H8626标准。
●即使是微弱的应力也可以进行测量。适用于薄膜和晶圆等微弱产物的测量。（可从膜厚0.5μ尘以上进行精密测量）
●也可以测量通过其他方式无法测量的初期应力。
适用于微小部件。
●传感器获得的数据立即输入到连接到电源的笔颁中，无需计算即可自动计算应力值。此外，测量中的数据可以使用电脑实时显示。将被积累起来。

电源及应力测量板部的规格