半导体制造高精度薄膜涂层用旋转涂布机
高精度?高速旋转(惭础齿12000谤辫尘)的旋转喷嘴
?标配带联锁传感器的安全盖。
?安全盖上有滴落用孔(带滑动盖),即使在旋转过程中也能滴落。
?多段式,10个步骤?100种模式,搭载程序存储器
?支持使用各种溶液的开发和评估
?也可以支持杯型特氟龙涂层和自动滴落等选项。
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