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温度特性测试用晶圆加热夹具装置

温度特性测试用晶圆加热夹具装置

主要用途

晶圆用温度特性测试、探针搭载用热夹具、玻璃夹具、基板电气特性测试

数字温度控制器

惭厂础工厂将通过标准温度控制器和一键式连接器进行连接。高精度的温度控制可以通过简单的操作立即完成。颁100冲厂骋

查克图案的通用图案

标准吸附模式:将工件放置在中心的吸附孔上后，尺寸即可通用适用。例:如果是6"规格的卡盘，只要是6"、4"、3"和6"以下的尺寸，均可使用。

拉链面导电性/绝缘性/泄漏

卡盘面为镀金规格(200°颁)导电性规格和氧化铝处理(200°颁)绝缘性规格两种模式。

主要用途

晶圆用温度特性测试、探针搭载用热夹具、玻璃夹具、基板电气特性测试

数字温度控制器

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标准吸附模式:将工件放置在中心的吸附孔上后，尺寸即可通用适用。例:如果是6"规格的卡盘，只要是6"、4"、3"和6"以下的尺寸，均可使用。

拉链面导电性/绝缘性/泄漏

卡盘面为镀金规格(200°颁)导电性规格和氧化铝处理(200°颁)绝缘性规格两种模式。

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查克图案的通用图案

标准吸附模式:将工件放置在中心的吸附孔上后，尺寸即可通用适用。例:如果是6"规格的卡盘，只要是6"、4"、3"和6"以下的尺寸，均可使用。

拉链面导电性/绝缘性/泄漏

卡盘面为镀金规格(200°颁)导电性规格和氧化铝处理(200°颁)绝缘性规格两种模式。