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标准超精密定位工作台直动压电滑台

标准超精密定位工作台直动压电滑台
分为共振频率高、强调高速响应的「直接驱动机构」和较长行程的「位移放大机构」。分为共振频率高、强调高速响应的「直接驱动机构」和较长行程的「位移放大机构」。分为共振频率高、强调高速响应的「直接驱动机构」和较长行程的「位移放大机构」。分为共振频率高、强调高速响应的「直接驱动机构」和较长行程的「位移放大机构」。分为共振频率高、强调高速响应的「直接驱动机构」和较长行程的「位移放大机构」。

• 压电元件直接移动工作台的机构。

• 行程短，有优异的解析度和反应能力。

• 刚性高，即使在重负载下也能稳定定位。

• 压电元件直接移动工作台的机构。

• 行程短，有优异的解析度和反应能力。

• 刚性高，即使在重负载下也能稳定定位。

• 压电元件直接移动工作台的机构。

• 行程短，有优异的解析度和反应能力。

• 刚性高，即使在重负载下也能稳定定位。

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• 行程短，有优异的解析度和反应能力。

• 刚性高，即使在重负载下也能稳定定位。

• 压电元件进行驱动，具有设计行程放大机构提升压电伸长率。

• 根据放大倍率，可获得比直接驱动机构数倍至10倍以上的行程。

• 内藏位移感测器的回授控制，可以保持优秀的反复定位精度。

• 压电元件进行驱动，具有设计行程放大机构提升压电伸长率。

• 根据放大倍率，可获得比直接驱动机构数倍至10倍以上的行程。

• 内藏位移感测器的回授控制，可以保持优秀的反复定位精度。

• 压电元件进行驱动，具有设计行程放大机构提升压电伸长率。

• 根据放大倍率，可获得比直接驱动机构数倍至10倍以上的行程。

• 内藏位移感测器的回授控制，可以保持优秀的反复定位精度。