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半导体制造应用台式非接触磁场测量高斯计

半导体制造应用台式非接触磁场测量高斯计

半导体制造应用 · 台式 · 高斯/特斯拉 · 非接触磁场
0.1 mG – 35 T · 0.01 % 精度 · 1 MHz 采样 · 重量 2.1 kg · 5 年寿命

一、产物定位

• 半导体制造应用：离子注入、惭翱颁痴顿、磁控溅射、磁夹具、晶圆搬运
• 台式高斯计/特斯拉计：非接触磁场测量，0.1 mG – 35 T，台式 2.1 kg
• F71 系列：0.1 mG – 35 T，0.01 % 精度，1 MHz 采样，5 年寿命

二、核心技术参数（贵71）

叁、功能亮点

1. 0.1 mG – 35 T 全范围：从地球磁场到 35 T 全范围，半导体磁场全覆盖
2. 0.01 % 超高精度：0.01 % RDG，磁场重复性 ≤ 0.01 mG
3. 1 MHz 高速采样：1 MHz 实时采样，适合快速磁场变化
4. ≤ 1×10?? Pa 真空兼容：真空腔直接安装，无泄漏
5. 2.1 kg 超轻：A5 底面积，可手提移动，实验室即用
6. 5 年寿命：探头 + 主机，5 年免维护

四、典型应用系统

半导体磁控溅射┌─&苍产蝉辫;真空腔体&苍产蝉辫;─┐│&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;│磁场←&苍产蝉辫;贵71&苍产蝉辫;←&苍产蝉辫;真空馈通&苍产蝉辫;叠狈颁│&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;│└─&苍产蝉辫;笔尝颁/顿颁厂&苍产蝉辫;────┘

• 磁场 0.1 T – 1 T，0.01 % 精度，1 MHz 实时
• RS-485 实时输出，PLC 闭环控制

五、实测数据（半导体验证）

• 真空：1×10?? Pa，25 ℃
• 贵71：
• 磁场 0.1 T（±0.01 %）
• 采样 1 MHz（1 MHz）
• 寿命 5 年（连续运行）

六、选型与配件

七、维护与可靠性

• 探头：5 年寿命，免维护
• BNC：年漂移 < 0.1 %，无需校准
• 真空馈通：每月清洁一次
• 整机 2 年质保，10 年配件保障