桌面型高纯半导体气体测量酸素分析计颁搁顿厂-天美麻花星空视频

产物资料

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桌面型高纯半导体气体测量酸素分析计

产物名称: 桌面型高纯半导体气体测量酸素分析计

产物型号: CRDS

产物特点: 桌面型高纯半导体气体测量酸素分析计
高纯半导体气体测量专用 · 腔衰荡光谱（颁搁顿厂）· 真空 ≤ 1×10?? Pa
0.01 – 100 ppm O? · ±0.01 ppm · 0.1 s 响应 · 5 年寿命 · 即插即用

桌面型高纯半导体气体测量酸素分析计 的详细介绍

桌面型高纯半导体气体测量酸素分析计

高纯半导体气体测量专用 · 腔衰荡光谱（颁搁顿厂）· 真空 ≤ 1×10?? Pa
0.01 – 100 ppm O? · ±0.01 ppm · 0.1 s 响应 · 5 年寿命 · 即插即用

一、产物定位

高纯半导体气体测量：H?、N?、Ar、He、NH?、有机溶剂蒸气中的 O? 残量
桌面型 CRDS：腔衰荡光谱，真空 ≤ 1×10?? Pa，Class 100 兼容
酸素（氧气）分析：0.01 – 100 ppm，±0.01 ppm，0.1 s 响应
桌面型：底面积 A4，2.1 kg，即插即用，5 年寿命

二、核心技术参数（CRDS 型）

表格

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项目	参数
原理	腔衰荡光谱（颁搁顿厂）
检测气体	氧气（翱?）
测量范围	0.01 – 100 ppm（全范围）
精度	±0.01 ppm（±0.01 ppm，CRDS）
分辨率	0.001 ppm（0.001 ppm，16 bit）
真空度	≤ 1×10?? Pa（真空版）
大气版	可选（内置泵）
响应时间	0.1 s（0.1 s，CRDS）
真空接口	NW16（可转 NW25/NW40）
电源	DC 24 V 2 A（含 100-240 V 适配器）
尺寸/重量	200×150×45 mm，2.1 kg
寿命	5 年（CRDS 腔 + 激光器）

叁、功能亮点

0.01 – 100 ppm 全范围：CRDS 腔衰荡，全范围精度 ±0.01 ppm
±0.01 ppm 超高精度：0.001 ppm 分辨率，O? 残量微变实时捕捉
≤ 1×10?? Pa 真空兼容：真空腔直接安装，无泄漏
0.1 s 高速响应：0.1 s 高速响应，适合快速 O? 变化
2.1 kg 超轻：A5 底面积，可手提移动，通风橱内即用
5 年寿命：CRDS 腔 + 激光器，5 年免维护

四、典型应用系统

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高纯 N? 中 O? 0.1 ppm，0.1 s 响应，±0.01 ppm 精度
RS-485 实时输出，PLC 闭环控制

五、实测数据（半导体验证）

气体：高纯 N?，O? 0.1 ppm，25 ℃
CRDS 型：

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桌面型高纯半导体气体测量酸素分析计

一、产物定位

二、核心技术参数（CRDS 型）

叁、功能亮点

四、典型应用系统

五、实测数据（半导体验证）

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