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实验室小型工艺生产线用空冷干式泵

实验室小型工艺生产线用空冷干式泵

产物定位

• 用途：适用于需要低噪音、高可靠性和紧凑设计的真空应用。
• 特点：低噪音设计（<50 dB）、小型化、高效能、无油干式运行。
• 适用领域：半导体制造、真空干燥、化学气相沉积（颁痴顿）、质谱仪、小型工艺生产线等。

2. 主要型号及性能参数

NeoDry G 系列型号

• G-10：抽速 10 L/min，极限真空度 10?? Pa
• G-20：抽速 20 L/min，极限真空度 10?? Pa
• G-30：抽速 30 L/min，极限真空度 10?? Pa
• G-50：抽速 50 L/min，极限真空度 10?? Pa

产物定位

• 用途：适用于需要低噪音、高可靠性和紧凑设计的真空应用。
• 特点：低噪音设计（<50 dB）、小型化、高效能、无油干式运行。
• 适用领域：半导体制造、真空干燥、化学气相沉积（颁痴顿）、质谱仪、小型工艺生产线等。

2. 主要型号及性能参数

NeoDry G 系列型号

• G-10：抽速 10 L/min，极限真空度 10?? Pa
• G-20：抽速 20 L/min，极限真空度 10?? Pa
• G-30：抽速 30 L/min，极限真空度 10?? Pa
• G-50：抽速 50 L/min，极限真空度 10?? Pa

产物定位

• 用途：适用于需要低噪音、高可靠性和紧凑设计的真空应用。
• 特点：低噪音设计（<50 dB）、小型化、高效能、无油干式运行。
• 适用领域：半导体制造、真空干燥、化学气相沉积（颁痴顿）、质谱仪、小型工艺生产线等。

2. 主要型号及性能参数

NeoDry G 系列型号

• G-10：抽速 10 L/min，极限真空度 10?? Pa
• G-20：抽速 20 L/min，极限真空度 10?? Pa
• G-30：抽速 30 L/min，极限真空度 10?? Pa
• G-50：抽速 50 L/min，极限真空度 10?? Pa

是一款 低噪音、小型空冷干式真空泵，专为 实验室、分析仪器、小型工艺生产线 设计，适用于 化学气相沉积（颁痴顿）、真空干燥、半导体制造、质谱仪辅助抽真空 等场景。是一款 低噪音、小型空冷干式真空泵，专为 实验室、分析仪器、小型工艺生产线 设计，适用于 化学气相沉积（颁痴顿）、真空干燥、半导体制造、质谱仪辅助抽真空 等场景。