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纯水小流量调节控制阀一体化流量控制器

纯水小流量调节控制阀一体化流量控制器

1. 结构紧凑
• 超声波流量计与步进电机驱动阀集成在同一外壳，无需旁路配管，可直接安装在 1/4″PFA 管路（管外径 6.35 mm）上，大大节省洁净室或设备内部空间

  。
2. 快速响应
• 采用高性能步进电机，全闭→全开行程仅 0.3 s，可瞬间修正流量偏差，适合频繁变设定或脉动进液工艺

  。
3. 宽范围控制
• 控制比 1:20，单台即可覆盖 50–5 000 mL/min（视型号）。
  ? G08 型：50–500 mL/min 或 300–3 000 mL/min
  ? G10 型：200–3 000 mL/min 或 500–5 000 mL/min

  。
4. 高精度与稳定性
• 控制精度：±1 %RD（20–100 %量程），下限 ±0.2 %FS；重复性 ±1 %RD；最小 ±2 mL/min（G08）/±4 mL/min（G10），满足半导体、制药等对微量添加的严格要求

  。
5. 智能化功能
• 内置过冲抑制算法，到达设定值超调 < 3 %，缩短稳定时间。
• 8 色 LED 灯带实时显示“全开/调节中/异常"等状态，无需外接指示灯即可目视确认

  。
• 累计流量预测与瞬时流量显示，支持本地按键或远程数字设定。
6. 数字通信
• 标准搭载 Modbus-RTU（RS-485），最多 31 台组网，方便接入 PLC/DCS，实现配方批量管理

  。
7. 接液材质与工况
• 接液部为 PFA/PTFE，耐腐蚀、低析出，适用于 10–90 °C 的纯水、显影液、剥离液、蚀刻液等。
• 使用压力 0.1–0.3 MPa(G)，耐压 0.5 MPa；环境温度 15–50 °C，湿度 ≤ 80 %RH（无凝露）

  。
8. 典型应用
• 半导体湿法清洗、显影、蚀刻工序的精密药液补给
• 制药配液、透析水系统的小流量定量添加
• 实验室或中试线的微量纯水/溶剂控制