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半导体处理用粉体捕集器过滤器

半导体处理用粉体捕集器过滤器

当粉体捕集器的升压开始时，干泵与粉体捕集器之"间的压力会上升。
具体来说，干式泵的背压会上升。
通常，这被认为是0.03惭笔补左右时更换粉体捕集过滤器的标准值。
另外，干式泵电流值、芯片的处理张数、真空室的运转时间等作为基准
也有这种情况。当粉体捕集器的升压开始时，干泵与粉体捕集器之"间的压力会上升。
具体来说，干式泵的背压会上升。
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另外，干式泵电流值、芯片的处理张数、真空室的运转时间等作为基准
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另外，干式泵电流值、芯片的处理张数、真空室的运转时间等作为基准
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另外，干式泵电流值、芯片的处理张数、真空室的运转时间等作为基准
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另外，干式泵电流值、芯片的处理张数、真空室的运转时间等作为基准
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通常，这被认为是0.03惭笔补左右时更换粉体捕集过滤器的标准值。
另外，干式泵电流值、芯片的处理张数、真空室的运转时间等作为基准
也有这种情况。