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半导体超纯水高耐久除氧器脱气装置

半导体超纯水高耐久除氧器脱气装置

1. 中空纤维隔膜 + 真空抽吸并行
• 水在隔膜内侧流动，外侧保持真空；O?、CO? 分压差驱动气体穿过膜壁被抽走，脱气温度可低至 10 ℃，无需热力除氧的高温蒸汽。
2. 内循环真空泵 + 喷射器组合，极限真空 ≤ 0.8 kPa；出口溶解氧 ≤ 5 μg L??（5 ppb），CO? ≤ 0.1 mg L??。

1. 隔膜束可抽取式：10 万小时设计寿命，现场 5 分钟完成更换，无需拆管。
2. 过流部全 316L + PTFE；密封圈全氟醚 (FFKM)，耐 80 ℃、20 % NaClO 清洗。
3. 真空泵水循环冷却，夏季连续运行泵头温度 < 40 ℃，保证润滑油长寿命。

• PLC + 7 吋彩色触控屏：实时显示 DO、真空度、流量、压差，支持 SD 卡数据记录。
• 变频真空控制：负荷波动时自动降低泵速，比定频机型节电 15-25 %。
• 远程接口：RS-485 (Modbus-RTU) + 4-20 mA 输出，可接入 DCS/SCADA。

• 国内现货：8905/8910 各 5 套；8930/8950 4-6 周
• 随机提供：工厂 DO 测试报告、真空泵 CE 证书、隔膜更换操作视频
• 质保：整机 1 年，中空纤维隔膜 3 年（按运行小时数折算）