第1点
对晶圆上的掉落灰尘进行分类。可以通过测量图像确认颜色区分显示异物情况?
分级?通过颜色区分显示易于理解?
洁净室观察用落尘粗大粒子计数器
洁净室观察用落尘粗大粒子计数器
搁础颁颁础搁对导致产物故障的直接原因“粗大颗粒"进行分类处理。正在计数中。
只需设置采集板并用搁础颁颁础搁进行测量,即可确认制造工序内所有部位的粗大粒子状况。
在粒子计数器中确认的微粒与粗粒子的行为不同。管理粗大粒子正是应对不良对策的捷径!
"粗大粒子计数器"搁础颁颁础搁"使用4英寸硅芯片作为样品板,"&苍产蝉辫;用于对样品板上的粗大粒子进行分类和计数的装置&苍产蝉辫;是的。结果会显示在附带的电脑上,并保存数据。可以解析。
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