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用于成膜设备工艺中压力监控隔膜真空计

用于成膜设备工艺中压力监控隔膜真空计

• 传感器部由陶瓷一体构造，具备优秀的再现性、稳定性，在低·中真空领域不受气体的种类影响(可以测量绝对压力)，能够高精度地测量。
• 长期稳定，使用陶瓷膜，具有优异的耐腐蚀性。
• 内置式温度补偿回路。
• 采用新结构保护传感器免受污垢。
• 可以通过按钮进行零点调整。
• 适用于成膜设备工艺中的压力监控、真空溶解、真空热处理炉等真空排气系统的压力监控，以及太阳能电池等各种制造设备的压力监控。

• 传感器部由陶瓷一体构造，具备优秀的再现性、稳定性，在低·中真空领域不受气体的种类影响(可以测量绝对压力)，能够高精度地测量。
• 长期稳定，使用陶瓷膜，具有优异的耐腐蚀性。
• 内置式温度补偿回路。
• 采用新结构保护传感器免受污垢。
• 可以通过按钮进行零点调整。
• 适用于成膜设备工艺中的压力监控、真空溶解、真空热处理炉等真空排气系统的压力监控，以及太阳能电池等各种制造设备的压力监控。

• 传感器部由陶瓷一体构造，具备优秀的再现性、稳定性，在低·中真空领域不受气体的种类影响(可以测量绝对压力)，能够高精度地测量。
• 长期稳定，使用陶瓷膜，具有优异的耐腐蚀性。
• 内置式温度补偿回路。
• 采用新结构保护传感器免受污垢。
• 可以通过按钮进行零点调整。
• 适用于成膜设备工艺中的压力监控、真空溶解、真空热处理炉等真空排气系统的压力监控，以及太阳能电池等各种制造设备的压力监控

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