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实验室及分析仪器用静音型油旋片真空泵

实验室及分析仪器用静音型油旋片真空泵

1. 排气性能

• 单级旋片、直联驱动
• 50 Hz 抽速 135 L/min；极限分压 ≤ 0.6 Pa（关镇流阀）
• 大气压到 10 kPa 区间可连续运转，适合快速粗抽

2. 气体镇流机构

• 泵头侧面自带手动镇流阀，引入干燥空气或 N?，抑制水汽/溶剂在泵腔凝结
• 镇流开启后，极限真空约 3 Pa，泵油寿命可延长 2-3 倍，避免乳化
• 镇流量可调，出厂设定 5-8 slm，用户可按工艺微调

3. 低噪音设计

• 电机转速 1 400 r/min（50 Hz），加隔声罩后 1 m 声压级 ≤ 55 dB(A)，比同级 VS 系列再低 6-8 dB
• 整机重 28 kg，橡胶减震脚垫，可直接放在实验台或仪器柜内，无需地脚螺栓

4. 维护与配件

• 内置油雾过滤器＋回油机构，油烟捕集率 ≥ 99.9%，室内排口几乎无可见油烟
• 1 L 矿物油（ULVAC R-4）即可运行；换油口、放油口同侧，5 min 完成保养
• 可选：油位开关、温度开关、24 V 直流电机、CF/NW 法兰转接件

5. 典型用途

• 分析仪器（骋颁-惭厂、滨颁笔-惭厂）前级泵
• 真空干燥箱、手套箱、冷冻干燥机
• 轻负荷溅射、SEM 样品室、小型镀膜机粗抽

1. 排气性能

• 单级旋片、直联驱动
• 50 Hz 抽速 135 L/min；极限分压 ≤ 0.6 Pa（关镇流阀）
• 大气压到 10 kPa 区间可连续运转，适合快速粗抽

2. 气体镇流机构

• 泵头侧面自带手动镇流阀，引入干燥空气或 N?，抑制水汽/溶剂在泵腔凝结
• 镇流开启后，极限真空约 3 Pa，泵油寿命可延长 2-3 倍，避免乳化
• 镇流量可调，出厂设定 5-8 slm，用户可按工艺微调

3. 低噪音设计

• 电机转速 1 400 r/min（50 Hz），加隔声罩后 1 m 声压级 ≤ 55 dB(A)，比同级 VS 系列再低 6-8 dB
• 整机重 28 kg，橡胶减震脚垫，可直接放在实验台或仪器柜内，无需地脚螺栓

4. 维护与配件

• 内置油雾过滤器＋回油机构，油烟捕集率 ≥ 99.9%，室内排口几乎无可见油烟
• 1 L 矿物油（ULVAC R-4）即可运行；换油口、放油口同侧，5 min 完成保养
• 可选：油位开关、温度开关、24 V 直流电机、CF/NW 法兰转接件

5. 典型用途

• 分析仪器（骋颁-惭厂、滨颁笔-惭厂）前级泵
• 真空干燥箱、手套箱、冷冻干燥机
• 轻负荷溅射、SEM 样品室、小型镀膜机粗抽