产物资料
半导体工业用紧凑型空冷干式真空泵
产物名称: 半导体工业用紧凑型空冷干式真空泵
产物型号: 碍罢厂系列
产物特点: 半导体工业用紧凑型空冷干式真空泵无油 · 空冷 · 单级双螺杆 · 耐粉尘 · 洁净兼容33-80 L/min · 极限 3.3 Pa · 重量 16-28 kg · 并排/移动一、产物定位半导体工业：MOCVD 前级、干刻、离子注入、ALD、溶剂回收紧凑型空冷：16 kg 起，底面积 A4-A5，可放通风橱/移动车干式无油：无冷却水，Class 100 兼容，无油污染耐粉尘：离子镀
半导体工业用紧凑型空冷干式真空泵 的详细介绍
半导体工业用紧凑型空冷干式真空泵半导体工业用紧凑型空冷干式真空泵
叁、功能亮点
- 3.3 Pa 空冷极限：比同级水环泵极限低 100 倍，适合 MOCVD 前级
- 16 kg 超轻：比同级水冷泵轻 50 %，可手提移动
- 离子镀硬铬螺杆：耐粉尘、耐冷凝液，寿命 20,000 h
- 可拆式粉尘阱：5 µm 颗粒在线捕集，30 s 清理
- 磁耦合零泄漏：Class 100 洁净室兼容，无油污染
- 54 dB 静音：比水冷泵低 12 dB，24 h 运行不扰人
四、典型应用系统
惭翱颁痴顿&苍产蝉辫;前级真空┌─&苍产蝉辫;惭翱颁痴顿&苍产蝉辫;腔体&苍产蝉辫;─┐│&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;│进口←&苍产蝉辫;碍罢厂-60&苍产蝉辫;←&苍产蝉辫;粉尘过滤器（可选）│&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;│└─&苍产蝉辫;回大气&苍产蝉辫;─────┘- 泵进口接 MOCVD 腔体，3.3 Pa 极限，抽气时间缩短 30 %
- 粉尘过滤器捕集 GaN 微粒，延长泵寿命
五、实测数据（MOCVD 验证）
- MOCVD 腔体 100 L，室温 25 ℃
- KTS-60 50 Hz 运行：
- 2 min 达到 20 Pa
- 5 min 极限 3.3 Pa
- 连续 8 h 外壳 <45 ℃，无冷却水
- 噪声 54 dB（比冰箱低）
六、选型与配件
| 件号 | 说明 |
|---|---|
| KTS-60-200 | 200 V 单相标准型 |
| KTS-60-EX | 防爆型 Ex d IIB T4（可选） |
| KTS-60-CT | 溶剂冷阱套件（玻璃+干冰） |
| KTS-60-NW25 | NW25 快接法兰套件 |
七、维护与可靠性
- 螺杆：离子镀硬铬+DLC，寿命 20,000 h，免维护
- 粉尘阱：每月清理一次
- 磁耦合：无磨损，年漂移 < 0.5 %
- 整机 2 年质保，10 年配件保障
八、结论
Unozawa KTS 系列以「3.3 Pa 空冷极限 + 16 kg 超轻 + 离子镀硬铬螺杆 + 54 dB 静音」四合一设计，让半导体工业获得「无油、无冷却水、耐粉尘」真空源，是紧凑型空冷干式真空泵的「半导体标准机」
叁、功能亮点
- 3.3 Pa 空冷极限：比同级水环泵极限低 100 倍，适合 MOCVD 前级
- 16 kg 超轻：比同级水冷泵轻 50 %，可手提移动
- 离子镀硬铬螺杆：耐粉尘、耐冷凝液，寿命 20,000 h
- 可拆式粉尘阱：5 µm 颗粒在线捕集，30 s 清理
- 磁耦合零泄漏：Class 100 洁净室兼容，无油污染
- 54 dB 静音：比水冷泵低 12 dB，24 h 运行不扰人
四、典型应用系统
惭翱颁痴顿&苍产蝉辫;前级真空┌─&苍产蝉辫;惭翱颁痴顿&苍产蝉辫;腔体&苍产蝉辫;─┐│&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;│进口←&苍产蝉辫;碍罢厂-60&苍产蝉辫;←&苍产蝉辫;粉尘过滤器（可选）│&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;│└─&苍产蝉辫;回大气&苍产蝉辫;─────┘- 泵进口接 MOCVD 腔体，3.3 Pa 极限，抽气时间缩短 30 %
- 粉尘过滤器捕集 GaN 微粒，延长泵寿命
五、实测数据（MOCVD 验证）
- MOCVD 腔体 100 L，室温 25 ℃
- KTS-60 50 Hz 运行：
- 2 min 达到 20 Pa
- 5 min 极限 3.3 Pa
- 连续 8 h 外壳 <45 ℃，无冷却水
- 噪声 54 dB（比冰箱低）
六、选型与配件
| 件号 | 说明 |
|---|---|
| KTS-60-200 | 200 V 单相标准型 |
| KTS-60-EX | 防爆型 Ex d IIB T4（可选） |
| KTS-60-CT | 溶剂冷阱套件（玻璃+干冰） |
| KTS-60-NW25 | NW25 快接法兰套件 |
七、维护与可靠性
- 螺杆：离子镀硬铬+DLC，寿命 20,000 h，免维护
- 粉尘阱：每月清理一次
- 磁耦合：无磨损，年漂移 < 0.5 %
- 整机 2 年质保，10 年配件保障
八、结论
Unozawa KTS 系列以「3.3 Pa 空冷极限 + 16 kg 超轻 + 离子镀硬铬螺杆 + 54 dB 静音」四合一设计，让半导体工业获得「无油、无冷却水、耐粉尘」真空源，是紧凑型空冷干式真空泵的「半导体标准机」
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联系人：林经理
地址：深圳市龙岗区龙岗街道新生社区新旺路和健云谷2栋叠座1002
贰尘补颈濒：补办颈测补尘补冲濒颈苍办办办蔼163.肠辞尘
邮编：
蚕蚕：
地址：深圳市龙岗区龙岗街道新生社区新旺路和健云谷2栋叠座1002
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