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光学工业适用多级直联式干式罗茨真空泵

光学工业适用多级直联式干式罗茨真空泵

1. 结构
• 多级罗茨转子直联变频电机，无齿轮箱、无润滑油接触真空腔
• 立式布局，占地 ≤ 0.2 m?，可穿墙安装，维护面仅正面一侧
2. 光学行业对应性能
• 单台抽速 180-1 200 m?/h（50 Hz）多型号可选，大气压→10 Pa 连续工作，适合快速粗抽与 TMP 背泵
• 内置气体冷却回流通道，可排可凝性溶剂（酒精、丙酮）及水汽，避免光学元件水痕
• 转子经动平衡+排气消音器，噪音 ≤ 62 dB(A)，1 m 声压级，可直接放于洁净室或光学车间内
3. 材质与洁净度
• 过流部标准阳极氧化铝，可选 304/316L 全不锈钢规格，满足 100 级洁净室 particle ≤ 10 pcs/ft? (0.3 µm)
• 轴封采用高差压双重唇形密封+氮气屏障，实现 ≤ 1×10?? Pa·m?/s 氦漏率
4. 典型光学工艺
• 精密光学镀膜机（电子束蒸发、离子辅助 IAD）粗抽与维持
• 相机镜头、激光晶体真空脱水、脱气
• 光学塑料颗粒干燥前级泵，防止油分子反扩散造成黄变

1. 结构
• 多级罗茨转子直联变频电机，无齿轮箱、无润滑油接触真空腔
• 立式布局，占地 ≤ 0.2 m?，可穿墙安装，维护面仅正面一侧
2. 光学行业对应性能
• 单台抽速 180-1 200 m?/h（50 Hz）多型号可选，大气压→10 Pa 连续工作，适合快速粗抽与 TMP 背泵
• 内置气体冷却回流通道，可排可凝性溶剂（酒精、丙酮）及水汽，避免光学元件水痕
• 转子经动平衡+排气消音器，噪音 ≤ 62 dB(A)，1 m 声压级，可直接放于洁净室或光学车间内
3. 材质与洁净度
• 过流部标准阳极氧化铝，可选 304/316L 全不锈钢规格，满足 100 级洁净室 particle ≤ 10 pcs/ft? (0.3 µm)
• 轴封采用高差压双重唇形密封+氮气屏障，实现 ≤ 1×10?? Pa·m?/s 氦漏率
4. 典型光学工艺
• 精密光学镀膜机（电子束蒸发、离子辅助 IAD）粗抽与维持
• 相机镜头、激光晶体真空脱水、脱气
• 光学塑料颗粒干燥前级泵，防止油分子反扩散造成黄变