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离子镀膜设备清洁排气无油干式涡旋真空泵

离子镀膜设备清洁排气无油干式涡旋真空泵

1. 抽速与真空度
• 50 Hz 时 500 L/min（30 m?/h），60 Hz 时 600 L/min（36 m?/h）
• 极限压力 ≤ 1 Pa
2. 多电压电机
   单相版本：100 V/115 V/200 V/230 V，50/60 Hz 可选；三相版本：200-230 V/380-480 V，50/60 Hz。出厂默认 200 V 级接线
3. 接口与尺寸
   吸气口 NW40，排气口 NW25；泵体 372 × 328 × 397 mm，重约 25 kg
4. 运行特性
   空冷、无润滑油、无冷却水；噪音 ≤ 70 dB(A)（带空气冲洗时）
5. 离子镀膜适用性
   低振动、清洁排气、防泄漏规格，可直接作为离子镀膜设备的前级或粗抽泵，也可为涡轮分子泵提供无油 backing

1. 抽速与真空度
• 50 Hz 时 500 L/min（30 m?/h），60 Hz 时 600 L/min（36 m?/h）
• 极限压力 ≤ 1 Pa
2. 多电压电机
   单相版本：100 V/115 V/200 V/230 V，50/60 Hz 可选；三相版本：200-230 V/380-480 V，50/60 Hz。出厂默认 200 V 级接线
3. 接口与尺寸
   吸气口 NW40，排气口 NW25；泵体 372 × 328 × 397 mm，重约 25 kg
4. 运行特性
   空冷、无润滑油、无冷却水；噪音 ≤ 70 dB(A)（带空气冲洗时）
5. 离子镀膜适用性
   低振动、清洁排气、防泄漏规格，可直接作为离子镀膜设备的前级或粗抽泵，也可为涡轮分子泵提供无油 backing