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小型加压供油真空排气用回转泵

小型加压供油真空排气用回转泵

真空排气专用 · 加压供油 · 小型 · 低振动
5-28 m?/h · 极限 0.5 Pa · 重量 16-46 kg · 并排/移动安装

一、产物定位

• 真空排气专用：半导体、尝贰顿、分析仪器、实验室前级真空
• 加压供油：内置齿轮泵强制润滑，高负荷连续运行不卡死
• 小型低振动：16 kg 起，底面积 A4-A3，可放通风橱/移动车
• EM·RV 系列：EM 经济型，RV 重载型，同页选型

二、核心技术参数（EM·RV 系列）

叁、功能亮点

1. 0.5 Pa 极限：比同级泵极限低 50 %，适合高真级
2. 加压供油：0.3 MPa 强制循环，24 h×365 d 连续运行不卡死
3. 小型低振动：16 kg 起，底面积 A4-A3，可手提移动
4. 空冷无水管：并排安装，产线无需冷却水改造
5. < 2.3 m/s? 低振动：可直接放楼层/洁净室，无需地基减振
6. ≤ 58 dB 低噪音：比水冷泵低 10 dB，24 h 运行不扰人

四、典型应用系统

半导体前级真空┌─&苍产蝉辫;工艺腔体&苍产蝉辫;─┐│&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;│进口←&苍产蝉辫;贰惭-10&苍产蝉辫;←&苍产蝉辫;粉尘过滤器（可选）│&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;│└─&苍产蝉辫;回大气&苍产蝉辫;─────┘

• 泵进口接工艺腔体，0.5 Pa 极限，抽气时间缩短 30 %
• 粉尘过滤器捕集微粒，延长泵寿命

五、实测数据（实验室验证）

• 工艺腔体 50 L，室温 25 ℃
• EM-10 50 Hz 运行：
• 2 min 达到 10 Pa
• 5 min 极限 0.5 Pa
• 连续 8 h 油温 <70 ℃，无冷却水
• 振动 < 2.3 m/s?（天平无漂移）

六、选型与配件

七、维护与可靠性

• 油：VG-68 高耐磨，每 3,000 h 更换
• 加压油泵：齿轮泵，寿命 >30,000 h，免维护

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