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产物资料

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半导体加工工业真空兼容气体检测探测器

产物名称: 半导体加工工业真空兼容气体检测探测器

产物型号: Midas

产物特点: 半导体加工工业真空兼容气体检测探测器
即插即用 · 远程诊断 · 易用性 · 半导体加工 · 工业制造
检测 40+ 气体 · 真空抽取 · 0-100 %LEL · 重量 2.1 kg · 并排安装
一、产物定位
半导体加工工业制造领域：惭翱颁痴顿、刻蚀、离子注入、扩散、溶剂清洗
易用性：即插即用，远程诊断，无需开盖校准
即插即用：真空抽取采样，并排安装，重量 2.1 kg
远程诊断：贬辞苍别测

半导体加工工业真空兼容气体检测探测器 的详细介绍

半导体加工工业真空兼容气体检测探测器

即插即用 · 远程诊断 · 易用性 · 半导体加工 · 工业制造
检测 40+ 气体 · 真空抽取 · 0-100 %LEL · 重量 2.1 kg · 并排安装

一、产物定位

半导体加工工业制造领域：惭翱颁痴顿、刻蚀、离子注入、扩散、溶剂清洗
易用性：即插即用，远程诊断，无需开盖校准
即插即用：真空抽取采样，并排安装，重量 2.1 kg
远程诊断：Honeywell Total Connect 云端，手机 APP 实时查看

二、核心技术参数（Midas 系列）

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项目	参数
检测原理	真空抽取 + 红外/紫外/电化学传感器
检测气体	40+ 气体（见下表）
量程	0-100 %LEL / 0-1000 ppm / 0-1 %Vol（因气体）
精度	±1 % FS（红外） / ±2 % FS（电化学）
响应时间	T90 < 10 s（真空抽取）
采样方式	真空抽取（内置泵）
真空度	≤ 1×10?? Pa（真空版）
通信	RS-485 + Modbus RTU + 云端 APP
电源	DC 24 V 2 A（含 100-240 V 适配器）
尺寸/重量	148×80×135 mm，2.1 kg
寿命	5 年（传感器）

叁、检测气体列表（部分）

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气体	量程	原理
NH?	0-100 ppm	电化学
HCl	0-10 ppm	电化学
HF	0-10 ppm	电化学
PH?	0-1 ppm	电化学
SiH?	0-100 %LEL	红外
CH?	0-100 %LEL	红外
O?	0-25 %Vol	电化学
H?O	0-100 %RH	电容

四、功能亮点

即插即用：真空抽取，并排安装，重量 2.1 kg，5 分钟完成
远程诊断：Honeywell Total Connect 云端，手机 APP 实时查看
真空抽取：≤ 1×10?? Pa，真空腔直接采样，无需外泵
40+ 气体：半导体工艺全覆盖，一键切换气体类型
< 10 s 响应：真空抽取，T90 < 10 s，适合快速泄漏
5 年寿命：传感器寿命 5 年，免维护，远程校准

五、典型应用系统

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真空度 ≤ 1×10?? Pa，直接采样 NH?、HCl、PH?
手机 APP 实时显示浓度，超阈值短信报警

六、实测数据（半导体验证）

MOCVD 腔体，NH? 50 ppm
Midas 真空版：

响应时间 8 s（T90）
精度 ±1 ppm（50 ppm）
寿命 5 年（真空版）

七、选型与配件

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件号	说明
Midas-VAC	真空版（≤1×10?? Pa）
Midas-AIR	大气版（内置泵）
Midas-NW16	NW16 真空馈通套件
Midas-APP	Honeywell Total Connect APP

八、维护与可靠性

传感器：5 年寿命，免维护，远程校准
真空馈通：每月清洁一次
APP：年漂移 < 0.1 %，无需校准
整机 2 年质保，10 年配件保障

九、结论

Honeywell Midas 以「即插即用 + 远程诊断 + 真空抽取 + 40+ 气体」四合一设计，让半导体加工工业获得「真空兼容、远程、易用」气体探测，是气体探测器的「易用标准机」