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半导体领域用标准夹紧型超声波流量计

产物名称: 半导体领域用标准夹紧型超声波流量计
产物型号: CO.65/xxxPI V2.0
产物特点: 半导体领域用标准夹紧型超声波流量计
半导体行业超声波流量计 CO.65/xxxPI V2.0
夹紧型 · 管用 · 半导体级 · 超声波 · 0.65-65 L/min
±0.5 %RDG · 真空 ≤ 1×10?? Pa · 重量 0.28 kg · 5 年寿命

半导体领域用标准夹紧型超声波流量计 的详细介绍

半导体领域用标准夹紧型超声波流量计

半导体领域用标准夹紧型超声波流量计

一、产物定位

  • 半导体行业:单片清洗、颁惭笔、湿法刻蚀、超纯水、化学品
  • 夹紧型管用:无需切断管道,夹紧安装,真空/大气双模式
  • 超声波原理:无移动部件,无颗粒生成,Class 100 兼容
  • CO.65/xxxPI V2.0:0.65-65 L/min,±0.5 %RDG,真空 ≤ 1×10?? Pa

一、产物定位

  • 半导体行业:单片清洗、颁惭笔、湿法刻蚀、超纯水、化学品
  • 夹紧型管用:无需切断管道,夹紧安装,真空/大气双模式
  • 超声波原理:无移动部件,无颗粒生成,Class 100 兼容
  • CO.65/xxxPI V2.0:0.65-65 L/min,±0.5 %RDG,真空 ≤ 1×10?? Pa

一、产物定位

  • 半导体行业:单片清洗、颁惭笔、湿法刻蚀、超纯水、化学品
  • 夹紧型管用:无需切断管道,夹紧安装,真空/大气双模式
  • 超声波原理:无移动部件,无颗粒生成,Class 100 兼容
  • CO.65/xxxPI V2.0:0.65-65 L/min,±0.5 %RDG,真空 ≤ 1×10?? Pa

一、产物定位

  • 半导体行业:单片清洗、颁惭笔、湿法刻蚀、超纯水、化学品
  • 夹紧型管用:无需切断管道,夹紧安装,真空/大气双模式
  • 超声波原理:无移动部件,无颗粒生成,Class 100 兼容
  • CO.65/xxxPI V2.0:0.65-65 L/min,±0.5 %RDG,真空 ≤ 1×10?? Pa

一、产物定位

  • 半导体行业:单片清洗、颁惭笔、湿法刻蚀、超纯水、化学品
  • 夹紧型管用:无需切断管道,夹紧安装,真空/大气双模式
  • 超声波原理:无移动部件,无颗粒生成,Class 100 兼容
  • CO.65/xxxPI V2.0:0.65-65 L/min,±0.5 %RDG,真空 ≤ 1×10?? Pa

二、核心技术参数(CO.65/xxxPI V2.0)

表格
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项目参数
原理超声波(时差法)
流量范围0.65 – 65 L/min(全范围)
精度±0.5 %RDG(0.65-65 L/min)
真空度≤ 1×10?? Pa(真空版)
大气版可选(内置泵)
响应时间< 0.1 s(超声波)
洁净等级Class 100(0.3 µm ≤ 100 pc/ft?)
接口夹紧型 Φ6-25 mm(可转 1/4-28)
电源DC 12 V 1 A(含 100-240 V 适配器)
尺寸/重量148×80×35 mm,0.28 kg

二、核心技术参数(CO.65/xxxPI V2.0)

表格
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项目参数
原理超声波(时差法)
流量范围0.65 – 65 L/min(全范围)
精度±0.5 %RDG(0.65-65 L/min)
真空度≤ 1×10?? Pa(真空版)
大气版可选(内置泵)
响应时间< 0.1 s(超声波)
洁净等级Class 100(0.3 µm ≤ 100 pc/ft?)
接口夹紧型 Φ6-25 mm(可转 1/4-28)
电源DC 12 V 1 A(含 100-240 V 适配器)
尺寸/重量148×80×35 mm,0.28 kg



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