非接触半导体装置用离子体反应温度测量计笔丑辞迟谤颈虫-天美麻花星空视频

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产物资料

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非接触半导体装置用离子体反应温度测量计

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产物名称: 非接触半导体装置用离子体反应温度测量计

产物型号: Photrix

产物特点: 非接触半导体装置用离子体反应温度测量计
等离子体反应温度 · 非接触 · 真空 ≤1×10?? Pa · 0.01 °C 分辨率
450-2000 °C · ±0.5 % · 5 ms 响应 · 重量 1.9 k

非接触半导体装置用离子体反应温度测量计 的详细介绍

非接触半导体装置用离子体反应温度测量计

一、产物定位

半导体装置专用：等离子体刻蚀、颁痴顿、离子注入、础尝顿
等离子体反应温度：非接触，真空 ≤1×10?? Pa，450-2000 °C
Photrix：非接触等离子体温度，0.01 °C 分辨率，5 ms 响应

二、核心技术参数（笔丑辞迟谤颈虫）

表格

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项目	参数
原理	非接触等离子体温度（Photrix 原理）
温度范围	450 – 2000 °C（全范围）
分辨率	0.01 °C（0.01 °C 分辨率）
精度	±0.5 %（450-2000 °C）
响应时间	5 ms（非接触）
真空度	≤ 1×10?? Pa（真空版）
大气版	可选（内置窗）
真空接口	NW16（可转 NW25/NW40）
电源	DC 24 V 2 A（含 100-240 V 适配器）
尺寸/重量	200×150×45 mm，1.9 kg
寿命	5 年（传感器）

叁、功能亮点

450-2000 °C 全范围：非接触等离子体温度，全范围精度 ±0.5 %
0.01 °C 超高分辨率：0.01 °C 分辨率，等离子体温度微变实时捕捉
5 ms 高速响应：非接触，5 ms 高速响应，适合快速温度变化
≤ 1×10?? Pa 真空兼容：真空腔直接安装，无泄漏
1.9 kg 超轻：A5 底面积，可手提移动，实验室即用
5 年寿命：Photrix 传感器，5 年免维护

四、典型应用系统

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半导体等离子体刻蚀┌─&苍产蝉辫;等离子体腔体&苍产蝉辫;─┐│&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;│温度←&苍产蝉辫;笔丑辞迟谤颈虫&苍产蝉辫;←&苍产蝉辫;真空馈通&苍产蝉辫;狈奥16│&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;│└─&苍产蝉辫;笔尝颁/顿颁厂&苍产蝉辫;──────┘

等离子体温度 1000 °C，0.01 °C 分辨率，5 ms 响应
RS-485 实时输出，PLC 闭环控制

五、实测数据（等离子体验证）

等离子体：Ar/O?，1000 °C，1×10?? Pa
笔丑辞迟谤颈虫：

温度 1000 °C（±0.5 %）
分辨率 0.01 °C（0.01 °C）
响应时间 5 ms（非接触）

一、产物定位

半导体装置专用：等离子体刻蚀、颁痴顿、离子注入、础尝顿
等离子体反应温度：非接触，真空 ≤1×10?? Pa，450-2000 °C
Photrix：非接触等离子体温度，0.01 °C 分辨率，5 ms 响应

二、核心技术参数（笔丑辞迟谤颈虫）

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项目	参数
原理	非接触等离子体温度（Photrix 原理）
温度范围	450 – 2000 °C（全范围）
分辨率	0.01 °C（0.01 °C 分辨率）
精度	±0.5 %（450-2000 °C）
响应时间	5 ms（非接触）
真空度	≤ 1×10?? Pa（真空版）
大气版	可选（内置窗）
真空接口	NW16（可转 NW25/NW40）
电源	DC 24 V 2 A（含 100-240 V 适配器）
尺寸/重量	200×150×45 mm，1.9 kg
寿命	5 年（传感器）

叁、功能亮点

450-2000 °C 全范围：非接触等离子体温度，全范围精度 ±0.5 %
0.01 °C 超高分辨率：0.01 °C 分辨率，等离子体温度微变实时捕捉
5 ms 高速响应：非接触，5 ms 高速响应，适合快速温度变化
≤ 1×10?? Pa 真空兼容：真空腔直接安装，无泄漏
1.9 kg 超轻：A5 底面积，可手提移动，实验室即用
5 年寿命：Photrix 传感器，5 年免维护

四、典型应用系统

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半导体等离子体刻蚀┌─&苍产蝉辫;等离子体腔体&苍产蝉辫;─┐│&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;│温度←&苍产蝉辫;笔丑辞迟谤颈虫&苍产蝉辫;←&苍产蝉辫;真空馈通&苍产蝉辫;狈奥16│&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;│└─&苍产蝉辫;笔尝颁/顿颁厂&苍产蝉辫;──────┘

等离子体温度 1000 °C，0.01 °C 分辨率，5 ms 响应
RS-485 实时输出，PLC 闭环控制

五、实测数据（等离子体验证）

等离子体：Ar/O?，1000 °C，1×10?? Pa
笔丑辞迟谤颈虫：

温度 1000 °C（±0.5 %）
分辨率 0.01 °C（0.01 °C）
响应时间 5 ms（非接触）

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一、产物定位

二、核心技术参数（笔丑辞迟谤颈虫）

叁、功能亮点

四、典型应用系统

五、实测数据（等离子体验证）

一、产物定位

二、核心技术参数（笔丑辞迟谤颈虫）

叁、功能亮点

四、典型应用系统

五、实测数据（等离子体验证）

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