实验室用超纯气体中氮杂质浓度分析计装置
实验室用超纯气体中氮杂质浓度分析计装置
| 特性 | 说明 |
|---|---|
| 测量原理 | 基于等离子体发射光谱法(Plasma Emission Spectroscopy),通过高频高压电离气体,激发氮原子发射特征光谱(约&苍产蝉辫;337 nm ± 2 nm),实现非放射性、高灵敏度检测。 |
| 测量范围 | 典型量程为&苍产蝉辫;0~10 ppm&苍产蝉辫;或&苍产蝉辫;0~100 ppm,可定制更低浓度。 |
| 响应时间 | T90 ≤ 30 秒,属于高速响应型,适合在线实时监测。 |
| 检测精度 | ±2% FS/24h&苍产蝉辫;稳定性,1%重复性,适用于微量级氮气检测。 |
| 样气条件 | 温度:10~40℃,流量:50~150 mL/min,压力:30~70 kPa,需避免含尘、含水或其他杂质气体(如 O?、CH?、H?、CO)。 |
| 特性 | 说明 |
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| 测量原理 | 基于等离子体发射光谱法(Plasma Emission Spectroscopy),通过高频高压电离气体,激发氮原子发射特征光谱(约&苍产蝉辫;337 nm ± 2 nm),实现非放射性、高灵敏度检测。 |
| 测量范围 | 典型量程为&苍产蝉辫;0~10 ppm&苍产蝉辫;或&苍产蝉辫;0~100 ppm,可定制更低浓度。 |
| 响应时间 | T90 ≤ 30 秒,属于高速响应型,适合在线实时监测。 |
| 检测精度 | ±2% FS/24h&苍产蝉辫;稳定性,1%重复性,适用于微量级氮气检测。 |
| 样气条件 | 温度:10~40℃,流量:50~150 mL/min,压力:30~70 kPa,需避免含尘、含水或其他杂质气体(如 O?、CH?、H?、CO)。 |
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