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半导体水处理在线电导率监视浓度显示器

半导体水处理在线电导率监视浓度显示器

1. 测定原理
   紫外吸收法（UV-254 nm），符合 JIS B 7957、US EPA EQOA-0914-003 要求，零点无漂移，无需化学试剂。
2. 量程与精度
• 标准量程：0 – 1.000 ppm（Vol）
• 可选量程：0 – 100 ppm / 0 – 1 000 ppm（EG-3000-H）
• 分辨率：1 ppb（0.001 ppm）
• 线性度：±1 % F.S.
• 重复性：±0.5 % F.S.
• 响应时间：T90 ≤ 30 s（样气流量 0.8 L/min）
3. 样气条件
• 流量：0.5 – 1.0 L/min（内置泵抽吸）
• 温度：5 – 45 ℃
• 湿度：＜ 85 %RH（无凝露）
• 压力：大气压 ±10 kPa（可配减压阀）
4. 显示与输出
• 7 英寸彩色触控，实时数字 + 曲线同屏
• 单位切换：ppm / mg/m? / ppb
• 接口：USB ×2、RS-485（Modbus-RTU）、4-20 mA、报警接点 ×2
• 数据记录：内置 8 GB，1 s – 60 min 间隔，CSV 导出
5. 功能特点
• 自动校零：内置臭氧洗涤器，一键校零，无需外接零气
• 自动跨度校准：可选内置臭氧发生器（EG-3000-CAL），5 min 完成 0.8 ppm 跨度标定
• 高低报警：可设两级阈值，声光 + 继电器输出
• 菜单语言：日/英/中切换
• 台式/面板两用：附折叠支架，亦可 96 × 96 mm 面板嵌入
6. 应用示例
• 半导体洁净室：光刻、清洗工序 O? 残留监测
• 液晶面板：干法蚀刻后臭氧分解设备效率确认
• 水处理：臭氧接触池尾气 0-1 ppm 监控
• 食品/医疗：杀菌室泄露检测，确保 < 0.1 ppm 人员安全限
7. 维护与耗材
• UV 灯寿命：约 8 000 h（可现场更换）
• 臭氧洗涤器颗粒：每 12 个月更换一次
• 进气过滤器：每 6 个月更换（可水洗重复使用 2 次）
8. 主机规格
• 尺寸：W 220 × D 280 × H 120 mm，重量 3.2 kg
• 电源：AC 100-240 V 50/60 Hz 40 W
• 防护：IP30（可选 IP54 携带箱）