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半导体水处理高精度在线监视浓度显示器
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产物名称:
半导体水处理高精度在线监视浓度显示器
产物型号:
EG-3000
产物特点:
半导体水处理高精度在线监视浓度显示器日本 ejooo 台式高精度臭氧浓度显示器 EG-3000 是一款实验室 / 洁净间级专用臭氧监视器,适用于半导体、液晶、水处理、食品杀菌等场景的在线监测与数据记录。核心信息如下:测定原理紫外吸收法(UV-254 nm),符合 JIS B 7957、US EPA EQOA-0914-003 要求,零点无漂移,无需化学试剂。量程与精度标准量程:0 – 1
半导体水处理高精度在线监视浓度显示器
的详细介绍
半导体水处理高精度在线监视浓度显示器
半导体水处理高精度在线监视浓度显示器
日本 ejooo 台式高精度臭氧浓度显示器 EG-3000 是一款实验室 / 洁净间级专用臭氧监视器,适用于半导体、液晶、水处理、食品杀菌等场景的在线监测与数据记录。核心信息如下:
测定原理
紫外吸收法(UV-254 nm),符合 JIS B 7957、US EPA EQOA-0914-003 要求,零点无漂移,无需化学试剂。
量程与精度
标准量程:0 – 1.000 ppm(Vol)
可选量程:0 – 100 ppm / 0 – 1 000 ppm(EG-3000-H)
分辨率:1 ppb(0.001 ppm)
线性度:±1 % F.S.
重复性:±0.5 % F.S.
响应时间:T90 ≤ 30 s(样气流量 0.8 L/min)
样气条件
流量:0.5 – 1.0 L/min(内置泵抽吸)
温度:5 – 45 ℃
湿度:< 85 %RH(无凝露)
压力:大气压 ±10 kPa(可配减压阀)
显示与输出
7 英寸彩色触控,实时数字 + 曲线同屏
单位切换:ppm / mg/m? / ppb
接口:USB ×2、RS-485(Modbus-RTU)、4-20 mA、报警接点 ×2
数据记录:内置 8 GB,1 s – 60 min 间隔,CSV 导出
功能特点
自动校零:内置臭氧洗涤器,一键校零,无需外接零气
自动跨度校准:可选内置臭氧发生器(EG-3000-CAL),5 min 完成 0.8 ppm 跨度标定
高低报警:可设两级阈值,声光 + 继电器输出
菜单语言:日/英/中切换
台式/面板两用:附折叠支架,亦可 96 × 96 mm 面板嵌入
应用示例
半导体洁净室:光刻、清洗工序 O? 残留监测
液晶面板:干法蚀刻后臭氧分解设备效率确认
水处理:臭氧接触池尾气 0-1 ppm 监控
食品/医疗:杀菌室泄露检测,确保 < 0.1 ppm 人员安全限
维护与耗材
UV 灯寿命:约 8 000 h(可现场更换)
臭氧洗涤器颗粒:每 12 个月更换一次
进气过滤器:每 6 个月更换(可水洗重复使用 2 次)
主机规格
尺寸:W 220 × D 280 × H 120 mm,重量 3.2 kg
电源:AC 100-240 V 50/60 Hz 40 W
防护:IP30(可选 IP54 携带箱)
一句话:EG-3000 采用 UV-254 nm 吸收法,0-1 ppm 段分辨率达 1 ppb,内置泵与自动校零,可台式或面板安装,适合半导体、液晶、水处理等场景对臭氧进行高精度在线监视与数据记录。
日本 ejooo 台式高精度臭氧浓度显示器 EG-3000 是一款实验室 / 洁净间级专用臭氧监视器,适用于半导体、液晶、水处理、食品杀菌等场景的在线监测与数据记录。核心信息如下:
测定原理
紫外吸收法(UV-254 nm),符合 JIS B 7957、US EPA EQOA-0914-003 要求,零点无漂移,无需化学试剂。
量程与精度
标准量程:0 – 1.000 ppm(Vol)
可选量程:0 – 100 ppm / 0 – 1 000 ppm(EG-3000-H)
分辨率:1 ppb(0.001 ppm)
线性度:±1 % F.S.
重复性:±0.5 % F.S.
响应时间:T90 ≤ 30 s(样气流量 0.8 L/min)
样气条件
流量:0.5 – 1.0 L/min(内置泵抽吸)
温度:5 – 45 ℃
湿度:< 85 %RH(无凝露)
压力:大气压 ±10 kPa(可配减压阀)
显示与输出
7 英寸彩色触控,实时数字 + 曲线同屏
单位切换:ppm / mg/m? / ppb
接口:USB ×2、RS-485(Modbus-RTU)、4-20 mA、报警接点 ×2
数据记录:内置 8 GB,1 s – 60 min 间隔,CSV 导出
功能特点
自动校零:内置臭氧洗涤器,一键校零,无需外接零气
自动跨度校准:可选内置臭氧发生器(EG-3000-CAL),5 min 完成 0.8 ppm 跨度标定
高低报警:可设两级阈值,声光 + 继电器输出
菜单语言:日/英/中切换
台式/面板两用:附折叠支架,亦可 96 × 96 mm 面板嵌入
应用示例
半导体洁净室:光刻、清洗工序 O? 残留监测
液晶面板:干法蚀刻后臭氧分解设备效率确认
水处理:臭氧接触池尾气 0-1 ppm 监控
食品/医疗:杀菌室泄露检测,确保 < 0.1 ppm 人员安全限
维护与耗材
UV 灯寿命:约 8 000 h(可现场更换)
臭氧洗涤器颗粒:每 12 个月更换一次
进气过滤器:每 6 个月更换(可水洗重复使用 2 次)
主机规格
尺寸:W 220 × D 280 × H 120 mm,重量 3.2 kg
电源:AC 100-240 V 50/60 Hz 40 W
防护:IP30(可选 IP54 携带箱)
一句话:EG-3000 采用 UV-254 nm 吸收法,0-1 ppm 段分辨率达 1 ppb,内置泵与自动校零,可台式或面板安装,适合半导体、液晶、水处理等场景对臭氧进行高精度在线监视与数据记录。
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