半导体膜厚测定用深紫外连续波激光器CW 213nm-天美麻花星空视频

对于我们产物中心新闻中心资料下载技术文章在线咨询联系我们

产物资料

首页 >>> 产物中心 >>> 机械设备 >>> 机器 >>> CW 213nm半导体膜厚测定用深紫外连续波激光器

半导体膜厚测定用深紫外连续波激光器

点击看大图

产物名称: 半导体膜厚测定用深紫外连续波激光器

产物型号: CW 213nm

产物特点: 半导体膜厚测定用深紫外连续波激光器
连续波 · 213 nm 深紫外 · 半导体检测 · 工业级
5-500 mW · ±0.1 % 稳定性 · 真空 ≤1×10?? Pa · 5 年寿命 · 即插即用

半导体膜厚测定用深紫外连续波激光器 的详细介绍

半导体膜厚测定用深紫外连续波激光器

一、产物定位

半导体检测工业用：膜厚测定、缺陷扫描、UV-Vis 光谱、反射率
连续波 213 nm：深紫外 DUV，连续波，5-500 mW，±0.1 % 稳定性
工业级：真空 ≤1×10?? Pa，0-180 ℃，工业级漂移
Opt-Oxide CW 213nm：CW 连续波，213 nm，5-500 mW，即插即用

二、核心技术参数（CW 213nm）

表格

复制

项目	参数
波长	213 nm（深紫外 DUV）
类型	连续波（颁奥）
功率范围	5 – 500 mW（连续可调）
稳定性	±0.1 %（1 h，恒温）
真空度	≤ 1×10?? Pa（真空版）
大气版	可选（内置除尘窗）
温度范围	0 – 180 ℃（全范围）
真空接口	NW16（可转 NW25/NW40）
电源	DC 24 V 2 A（含 100-240 V 适配器）
接口	FC/SMA905 光纤（真空馈通）
尺寸/重量	Φ25×80 mm，0.28 kg
寿命	5 年（连续运行）

叁、功能亮点

213 nm 深紫外：DUV 连续波，适合 < 5 nm 超薄膜测定
±0.1 % 超高稳定性：1 h 漂移 < 0.1 %，膜厚重复性 < 0.01 nm
5-500 mW 连续可调：5-500 mW 连续可调，适合不同工艺段
≤ 1×10?? Pa 真空兼容：真空腔直接安装，无泄漏
0.28 kg 超轻：A5 底面积，可手提移动，实验室即用
5 年寿命：连续波无磨损，5 年免维护

四、典型应用系统

复制

半导体膜厚测定┌─&苍产蝉辫;真空腔体&苍产蝉辫;─┐│&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;│激光←&苍产蝉辫;颁奥-213&苍产蝉辫;←&苍产蝉辫;真空馈通&苍产蝉辫;贵颁│&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;│└─&苍产蝉辫;光谱仪&苍产蝉辫;────┘

真空度 ≤ 1×10?? Pa，213 nm 连续照射
光谱仪采集反射光谱，膜厚精度 ≤ 0.01 nm

五、实测数据（半导体验证）

真空：1×10?? Pa，25 ℃
颁奥-213苍尘：

功率 100 mW（±0.1 %）
稳定性 ±0.1 %（1 h）
寿命 5 年（连续运行）

六、选型与配件

表格

复制

件号	说明
CW-213-VAC	真空版（≤1×10?? Pa）
CW-213-AIR	大气版（内置除尘窗）
CW-213-FC	FC 光纤接口（真空馈通）
CW-213-DRIVER	24 V 驱动器（含）

一、产物定位

半导体检测工业用：膜厚测定、缺陷扫描、UV-Vis 光谱、反射率
连续波 213 nm：深紫外 DUV，连续波，5-500 mW，±0.1 % 稳定性
工业级：真空 ≤1×10?? Pa，0-180 ℃，工业级漂移
Opt-Oxide CW 213nm：CW 连续波，213 nm，5-500 mW，即插即用

二、核心技术参数（CW 213nm）

表格

复制

项目	参数
波长	213 nm（深紫外 DUV）
类型	连续波（颁奥）
功率范围	5 – 500 mW（连续可调）
稳定性	±0.1 %（1 h，恒温）
真空度	≤ 1×10?? Pa（真空版）
大气版	可选（内置除尘窗）
温度范围	0 – 180 ℃（全范围）
真空接口	NW16（可转 NW25/NW40）
电源	DC 24 V 2 A（含 100-240 V 适配器）
接口	FC/SMA905 光纤（真空馈通）
尺寸/重量	Φ25×80 mm，0.28 kg
寿命	5 年（连续运行）

叁、功能亮点

213 nm 深紫外：DUV 连续波，适合 < 5 nm 超薄膜测定
±0.1 % 超高稳定性：1 h 漂移 < 0.1 %，膜厚重复性 < 0.01 nm
5-500 mW 连续可调：5-500 mW 连续可调，适合不同工艺段
≤ 1×10?? Pa 真空兼容：真空腔直接安装，无泄漏
0.28 kg 超轻：A5 底面积，可手提移动，实验室即用
5 年寿命：连续波无磨损，5 年免维护

四、典型应用系统

复制

半导体膜厚测定┌─&苍产蝉辫;真空腔体&苍产蝉辫;─┐│&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;│激光←&苍产蝉辫;颁奥-213&苍产蝉辫;←&苍产蝉辫;真空馈通&苍产蝉辫;贵颁│&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;│└─&苍产蝉辫;光谱仪&苍产蝉辫;────┘

真空度 ≤ 1×10?? Pa，213 nm 连续照射
光谱仪采集反射光谱，膜厚精度 ≤ 0.01 nm

五、实测数据（半导体验证）

真空：1×10?? Pa，25 ℃
颁奥-213苍尘：

功率 100 mW（±0.1 %）
稳定性 ±0.1 %（1 h）
寿命 5 年（连续运行）

六、选型与配件

表格

复制

件号	说明
CW-213-VAC	真空版（≤1×10?? Pa）
CW-213-AIR	大气版（内置除尘窗）
CW-213-FC	FC 光纤接口（真空馈通）
CW-213-DRIVER	24 V 驱动器（含）

产物留言

天美麻花星空视频

半导体膜厚测定用深紫外连续波激光器

一、产物定位

二、核心技术参数（CW 213nm）

叁、功能亮点

四、典型应用系统

五、实测数据（半导体验证）

六、选型与配件

一、产物定位

二、核心技术参数（CW 213nm）

叁、功能亮点

四、典型应用系统

五、实测数据（半导体验证）

六、选型与配件

留言框

产物：

您的单位：

您的姓名：

联系电话：

常用邮箱：

省份：

详细地址：

补充说明：

验证码：