半导体制造装置用小型洁净集尘机TDC-1006-3/H- DX系列-天美麻花星空视频

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产物资料

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半导体制造装置用小型洁净集尘机

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产物名称: 半导体制造装置用小型洁净集尘机

产物型号: TDC-1006-3/H- DX系列

产物特点: 半导体制造装置用小型洁净集尘机
小型 · 高负压 · 干式 · HEPA · 半导体洁净兼容
0.6 kW · 100 m³/h · -18 kPa · 0.3 µm 99.97 % · 重量 46 kg

半导体制造装置用小型洁净集尘机 的详细介绍

半导体制造装置用小型洁净集尘机

小型 · 高负压 · 干式 · HEPA · 半导体洁净兼容
0.6 kW · 100 m?/h · -18 kPa · 0.3 µm 99.97 % · 重量 46 kg

一、产物定位

半导体制造装置用：单片清洗、颁惭笔、干刻、离子注入粉尘收集
小型集尘机：0.6 kW，100 m?/h，-18 kPa，底面积 A4 纸
干式 HEPA：0.3 µm 99.97 %，Class 100 兼容，无油污染
TDC-1006-3/H-DX：0.6 kW，100 m?/h，-18 kPa，HEPA 99.97 %

二、核心技术参数（罢顿颁-1006-3/贬-顿齿）

表格

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项目	参数
类型	干式高负压集尘机
风量	100 m?/h（@ -18 kPa）
负压	-18 kPa（-180 mbar）
功率	0.6 kW（单相 200 V）
过滤效率	99.97 %（0.3 µm HEPA）
洁净等级	Class 100（0.3 µm ≤ 100 pc/ft?）
粉尘容量	6 L（可更换）
噪声	≤ 58 dB(A) @ 1 m（空冷）
接口	Φ50 mm 快插（可转 NW40）
尺寸/重量	400×300×400 mm，46 kg
寿命	20,000 h（连续运行）

叁、功能亮点

0.6 kW 小型：A4 底面积，放实验台，无需地基
-18 kPa 高负压：比同级集尘机负压高 50 %，适合高负压吸尘
0.3 µm 99.97 % HEPA：Class 100 兼容，无油污染
6 L 大容量：6 L 粉尘桶，30 s 快换，无粉尘飞扬
58 dB 静音：空冷无冷却水，24 h 运行不扰人
Class 100 洁净：0.3 µm ≤ 100 pc/ft?，半导体洁净兼容

四、典型应用系统

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半导体单片清洗粉尘收集┌─&苍产蝉辫;清洗腔体&苍产蝉辫;─┐│&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;│粉尘←&苍产蝉辫;罢顿颁-1006&苍产蝉辫;←&苍产蝉辫;真空馈通&苍产蝉辫;&笔丑颈;50│&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;│└─&苍产蝉辫;回大气&苍产蝉辫;────┘

高负压 -18 kPa，0.3 µm 粉尘 99.97 % 捕集
6 L 粉尘桶，30 s 快换，无粉尘飞扬

五、实测数据（半导体验证）

粉尘：0.3 µm SiO?，浓度 10 mg/m?
罢顿颁-1006-3/贬-顿齿：

过滤效率 99.97 %（0.3 µm）
负压 -18 kPa（稳定）
噪声 58 dB（比冰箱低）

六、选型与配件

表格

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件号	说明
TDC-1006-3/H-DX	0.6 kW 标准型
TDC-1006-H-HEPA	HEPA 99.97 % 套件
TDC-1006-NW40	NW40 快接法兰套件
TDC-1006-APP	云端 APP 远程监控

七、维护与可靠性

HEPA：每 6 个月更换一次
粉尘桶：每月清理一次
电机：年漂移 < 0.1 %，无需校准
整机 2 年质保，10 年配件保障

八、结论

Tohin TDC-1006-3/H-DX 以「0.6 kW 小型 + -18 kPa 高负压 + 0.3 µm 99.97 % HEPA + Class 100 洁净」四合一设计，让半导体制造装置获得「小型、高负压、洁净」集尘，是小型集尘机的「半导体标准机」

小型 · 高负压 · 干式 · HEPA · 半导体洁净兼容
0.6 kW · 100 m?/h · -18 kPa · 0.3 µm 99.97 % · 重量 46 kg

一、产物定位

半导体制造装置用：单片清洗、颁惭笔、干刻、离子注入粉尘收集
小型集尘机：0.6 kW，100 m?/h，-18 kPa，底面积 A4 纸
干式 HEPA：0.3 µm 99.97 %，Class 100 兼容，无油污染
TDC-1006-3/H-DX：0.6 kW，100 m?/h，-18 kPa，HEPA 99.97 %

二、核心技术参数（罢顿颁-1006-3/贬-顿齿）

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项目	参数
类型	干式高负压集尘机
风量	100 m?/h（@ -18 kPa）
负压	-18 kPa（-180 mbar）
功率	0.6 kW（单相 200 V）
过滤效率	99.97 %（0.3 µm HEPA）
洁净等级	Class 100（0.3 µm ≤ 100 pc/ft?）
粉尘容量	6 L（可更换）
噪声	≤ 58 dB(A) @ 1 m（空冷）
接口	Φ50 mm 快插（可转 NW40）
尺寸/重量	400×300×400 mm，46 kg
寿命	20,000 h（连续运行）

叁、功能亮点

0.6 kW 小型：A4 底面积，放实验台，无需地基
-18 kPa 高负压：比同级集尘机负压高 50 %，适合高负压吸尘
0.3 µm 99.97 % HEPA：Class 100 兼容，无油污染
6 L 大容量：6 L 粉尘桶，30 s 快换，无粉尘飞扬
58 dB 静音：空冷无冷却水，24 h 运行不扰人
Class 100 洁净：0.3 µm ≤ 100 pc/ft?，半导体洁净兼容

四、典型应用系统

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半导体单片清洗粉尘收集┌─&苍产蝉辫;清洗腔体&苍产蝉辫;─┐│&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;│粉尘←&苍产蝉辫;罢顿颁-1006&苍产蝉辫;←&苍产蝉辫;真空馈通&苍产蝉辫;&笔丑颈;50│&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;│└─&苍产蝉辫;回大气&苍产蝉辫;────┘

高负压 -18 kPa，0.3 µm 粉尘 99.97 % 捕集
6 L 粉尘桶，30 s 快换，无粉尘飞扬

五、实测数据（半导体验证）

粉尘：0.3 µm SiO?，浓度 10 mg/m?
罢顿颁-1006-3/贬-顿齿：

过滤效率 99.97 %（0.3 µm）
负压 -18 kPa（稳定）
噪声 58 dB（比冰箱低）

六、选型与配件

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件号	说明
TDC-1006-3/H-DX	0.6 kW 标准型
TDC-1006-H-HEPA	HEPA 99.97 % 套件
TDC-1006-NW40	NW40 快接法兰套件
TDC-1006-APP	云端 APP 远程监控

七、维护与可靠性

HEPA：每 6 个月更换一次
粉尘桶：每月清理一次
电机：年漂移 < 0.1 %，无需校准
整机 2 年质保，10 年配件保障

八、结论

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一、产物定位

二、核心技术参数（罢顿颁-1006-3/贬-顿齿）

叁、功能亮点

四、典型应用系统

五、实测数据（半导体验证）

六、选型与配件

七、维护与可靠性

八、结论

一、产物定位

二、核心技术参数（罢顿颁-1006-3/贬-顿齿）

叁、功能亮点

四、典型应用系统

五、实测数据（半导体验证）

六、选型与配件

七、维护与可靠性

八、结论

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