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半导体排气用免维护在线臭氧浓度监测计

半导体排气用免维护在线臭氧浓度监测计

1. “光源寿命 10 年免维护"——UV-LED 254 nm 吸收法，连续输出 4–20 mA / RS-485，用于半导体排气、臭氧发生器反馈、水处理尾气、医药洁净室等 0–200 g/Nm? 宽范围在线监测。

2. 
   

1. “光源寿命 10 年免维护"——UV-LED 254 nm 吸收法，连续输出 4–20 mA / RS-485，用于半导体排气、臭氧发生器反馈、水处理尾气、医药洁净室等 0–200 g/Nm? 宽范围在线监测。

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1. “光源寿命 10 年免维护"——UV-LED 254 nm 吸收法，连续输出 4–20 mA / RS-485，用于半导体排气、臭氧发生器反馈、水处理尾气、医药洁净室等 0–200 g/Nm? 宽范围在线监测。

2. 
   

1. 
   

• 光源：深紫外 LED 254 nm，半宽 10 nm，寿命 > 30 000 h（10 年连续）
• 检测器：UV-SiC 光电二极管，温度系数 < 0.02 % / ℃
• 光程：固定 50 mm（OZT-10/30）／10 mm（OZT-100/200）石英管
• 接触气体部：316L + 石英 + Viton（可选全 PTFE）
• 采样流量：0.2 – 2 L min??，内置针阀与 5 µm PTFE 过滤器
• 压力补偿：0 – 150 kPa 绝压传感器，自动修正浓度
• 温度补偿：0 – 60 ℃ 自动
• 露点补偿：可选电容式湿度传感器，修正臭氧分解影响
2. 输出与通信

1. 
   

• 光源：深紫外 LED 254 nm，半宽 10 nm，寿命 > 30 000 h（10 年连续）
• 检测器：UV-SiC 光电二极管，温度系数 < 0.02 % / ℃
• 光程：固定 50 mm（OZT-10/30）／10 mm（OZT-100/200）石英管
• 接触气体部：316L + 石英 + Viton（可选全 PTFE）
• 采样流量：0.2 – 2 L min??，内置针阀与 5 µm PTFE 过滤器
• 压力补偿：0 – 150 kPa 绝压传感器，自动修正浓度
• 温度补偿：0 – 60 ℃ 自动
• 露点补偿：可选电容式湿度传感器，修正臭氧分解影响
2. 输出与通信

1. 
   

• 光源：深紫外 LED 254 nm，半宽 10 nm，寿命 > 30 000 h（10 年连续）
• 检测器：UV-SiC 光电二极管，温度系数 < 0.02 % / ℃
• 光程：固定 50 mm（OZT-10/30）／10 mm（OZT-100/200）石英管
• 接触气体部：316L + 石英 + Viton（可选全 PTFE）
• 采样流量：0.2 – 2 L min??，内置针阀与 5 µm PTFE 过滤器
• 压力补偿：0 – 150 kPa 绝压传感器，自动修正浓度
• 温度补偿：0 – 60 ℃ 自动
• 露点补偿：可选电容式湿度传感器，修正臭氧分解影响
2. 输出与通信