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超纯水精制装置用溶解臭氧臭氧浓度计

超纯水精制装置用溶解臭氧臭氧浓度计

• 晶圆湿法清洗（翱?-顿滨奥）
• 光阻剥离、Cu 配线蚀刻
• 超纯水系统臭氧浓度闭环控制
• 晶圆湿法清洗（翱?-顿滨奥）
• 光阻剥离、Cu 配线蚀刻
• 超纯水系统臭氧浓度闭环控制

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• 晶圆湿法清洗（翱?-顿滨奥）
• 光阻剥离、Cu 配线蚀刻
• 超纯水系统臭氧浓度闭环控制

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• 晶圆湿法清洗（翱?-顿滨奥）
• 光阻剥离、Cu 配线蚀刻
• 超纯水系统臭氧浓度闭环控制

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原理：深紫外 LED 254 nm 吸收法（双光束，参比补偿）范围：0 – 2,000 ppb（µg/L）溶解臭氧分辨率：0.1 ppb精度：±0.5 ppb 或 ±1 % RD 取大者检出限：0.3 ppb（3σ，60 s）响应时间：T90 ≤ 10 s（0.2 L min?? 时）温度补偿：0 – 60 ℃ 自动（内置 PT1000）压力补偿：0 – 0.5 MPa 自动（内置绝压传感器）接液与安装接液材质：PFA + 高纯石英（TOC < 1 ppb 级）流路：超小型石英池 40 µL，死体积 < 0.1 mL接口：1/4″ PFA 快拧（IN/OUT 同径）采样流量：0.1 – 0.5 L min??（推荐 0.2 L min??）防护：IP65，耐 18 MΩ 超纯水静电冲击输出与通信模拟：隔离 4–20 mA（负载 ≤ 500 Ω，线性/对数可选）数字：RS-485 Modbus RTU， baud 9.6 k–115.2 k报警：High / High-High / LOW 继电器 1 A×3数据记录：内置 32 GB SD 卡，CSV 连续 1 s，约 10 年校准记录：自动时间戳，可导出 PDF（符合 GMP）自动校零（无需标准液）内置 Pt-MnO? 臭氧分解催化剂，60 s 生成零水零点漂移 < 0.2 ppb / 月跨度可用 100 ppb 标准溶解臭氧（可选配件）1 点修正典型工艺点UPW 臭氧注入后：设定 80 ppb，PID 控制臭氧发生器DIW 加热回收段：监测残留 < 5 ppb，防止 Cu 氧化精混床出口：确认臭氧已分解至 < 0.5 ppb，保护离子交换树脂系统联锁示例O? 发生器 → Model-1700（4–20 mA）→ PLC PID →  injector 阀同时 SD 卡记录用于批次追溯（Lot ID 自动写入）外形与电源尺寸：160 W × 140 H × 80 D mm，1.1 kg电源：DC 24 V ±10 %，5 W安装：DIN 导轨或面板开孔 152×76 mm选配全 PTFE 气路（用于 O? 气体侧，同一型号）19 吋机架安装套件防爆型 Ex d IIC T4（Zone 1）远程零/标电磁阀箱（自动 3 点校准）价格 & 交期（2025-Q3）Model-1700 标准型：JPY 1,280,000（≈ 6.0 万 RMB）100 ppb 标准溶解臭氧胶囊 10 只：JPY 25,000现货 1-2 周；Ex d 防爆 4 周一句话总结Dylec Model-1700 = UV-LED 双光束，0.1 ppb 分辨率、T90 10 s，40 µL 石英池，PFA+石英接液，60 s 零水自校，4–20 mA/RS-485／32 GB 记录，是 UPW 回路「ppt 级」溶解臭氧在线监测与 PID 反馈控制的超纯水专用臭氧浓度计。